1 、茂莱光学(688502)
持股市值：141094万，持股比例：8.93 %，变动情况：78.00万

2 、中科飞测(688361)
持股市值：128744万，持股比例：2.42 %，变动情况：新进

3 、燕东微(688172)
持股市值：120102万，持股比例：2.22 %，变动情况：新进

4 、汇成真空(301392)
持股市值：103880万，持股比例：9.80 %，变动情况：232.00万

5 、德明利(001309)
持股市值：80166万，持股比例：0.93 %，变动情况：新进

6 、福晶科技(002222)
持股市值：68480万，持股比例：2.14 %，变动情况：420.00万

7 、芯源微(688037)
持股市值：50362万，持股比例：1.49 %，变动情况：新进

8 、奥普光电(002338)
持股市值：44748万，持股比例：3.96 %，变动情况：660.00万

9 、波长光电(301421)
持股市值：41040万，持股比例：4.32 %，变动情况：不变

10 、洪田股份(603800)
持股市值：21251万，持股比例：2.69 %，变动情况：新进

11 、宝光股份(600379)
持股市值：12753万，持股比例：3.27 %，变动情况：新进

12 、华辰装备(300809)
持股市值：11172万，持股比例：1.33 %，变动情况：新进