《《十大流通股东》》

中微半导体设备(上海)股份有限公司
持股比例：13.50 %，持股数量：1386.24万 ，变动情况：不变

华夏上证科创板50成份ETF
持股比例：6.61 %，持股数量：678.30万 ，变动情况：-8.41万

中合盛资本管理有限公司-青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：3.87 %，持股数量：397.32万 ，变动情况：不变

易方达上证科创板50ETF
持股比例：3.22 %，持股数量：330.29万 ，变动情况：-15.22万

沈阳信息产业创业投资管理有限公司-沈阳信息产业创业投资有限公司
持股比例：3.06 %，持股数量：314.49万 ，变动情况：不变

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
持股比例：2.79 %，持股数量：286.57万 ，变动情况：-1.70万

华夏国证半导体芯片ETF
持股比例：2.14 %，持股数量：219.33万 ，变动情况：3.03万

香港中央结算有限公司
持股比例：1.97 %，持股数量：202.59万 ，变动情况：-9.44万

南方信息创新混合A
持股比例：1.63 %，持股数量：166.87万 ，变动情况：19.47万

诺安成长混合
持股比例：1.58 %，持股数量：162.29万 ，变动情况：不变

《《十大股东》》

国家集成电路产业投资基金股份有限公司
持股比例：19.76 %，持股数量：3718.02万，变动情况：不变

国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)
持股比例：13.60 %，持股数量：2560.00万，变动情况：不变

中微半导体设备(上海)股份有限公司
持股比例：7.37 %，持股数量：1386.24万，变动情况：不变

华夏上证科创板50成份ETF
持股比例：3.60 %，持股数量：678.30万，变动情况：-8.41万

中合盛资本管理有限公司-青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：2.11 %，持股数量：397.32万，变动情况：不变

易方达上证科创板50ETF
持股比例：1.76 %，持股数量：330.29万，变动情况：-15.22万

沈阳信息产业创业投资管理有限公司-沈阳信息产业创业投资有限公司
持股比例：1.67 %，持股数量：314.49万，变动情况：不变

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
持股比例：1.52 %，持股数量：286.57万，变动情况：-1.70万

华夏国证半导体芯片ETF
持股比例：1.17 %，持股数量：219.33万，变动情况：3.03万

共青城芯鑫和投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：1.09 %，持股数量：204.39万，变动情况：不变

实控人：--

最终控制人：--