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捷佳伟创:子公司创微微电子自主开发6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备 获得批量订单
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捷佳伟创:子公司创微微电子自主开发6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备 获得批量订单
2023-05-05 18:11:00
捷佳伟创
5月5日在互动平台表示,在半导体设备领域,公司全资子公司创微微电子自主开发了6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备,包括有篮和无篮的槽式设备及单片设备,涵盖多种前道湿法工艺,获得了批量订单,同时公司也在开展第三代半导体退火炉、氧化炉等高端工艺装备的研发,实现公司从光伏装备领域向半导体装备领域的战略上拓展。
(文章来源:界面新闻)
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