有投资者在投资者互动平台提问：中科飞测在A股上市了，公司的28nm前道晶圆检测相比中科飞测，性能如何？

　　天准科技（688003.SH）5月24日在投资者互动平台表示，公司参股的公司苏州矽行在进行前道晶圆检测设备的研发，目标是28nm晶圆检测，目前设备样机还处在内部测试阶段。
（文章来源：每日经济新闻）