英杰电气：已具备半导体设备部分机台射频电源的国产化替代以及量产能力
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英杰电气：已具备半导体设备部分机台射频电源的国产化替代以及量产能力
2024-01-11 15:33:00
英杰电气1月11日在互动平台表示，射频电源订单前几个月已经开始放量，向重点客户批量供货，目前公司已经具备了半导体设备（刻蚀机、PECVD等）部分机台射频电源的国产化替代以及量产的能力，其余机台的射频电源研发也正在有序推进，目前推进进度良好。
（文章来源：界面新闻）
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