晶盛机电近日在接受调研时表示，近日，子公司浙江晶盛光子科技有限公司自主研发的电池片设备成功出口海外客户。此次晶盛光子出口海外的产品包括PECVD、LPCVD和管式低压磷扩散炉三款最新设备。其中，PECVD设备独特的细丝炉体设计，使效率分布更加收敛；LPCVD设备腔内热场分布更加均匀，Poly-Si沉积膜厚均匀性超业内水平；管式低压磷扩散炉创新应用了法兰独立水冷等设计，进一步改善了热管理和气流控制能力。这三款电池片设备此次出口海外，将在很大程度推动高效电池技术扩产。

（文章来源：界面新闻）