三一重能(688349)
持股比例：6.12 %，持股数量：1151.54万，变动情况：352.28万

普源精电(688337)
持股比例：5.10 %，持股数量：335.44万，变动情况：67.32万

广钢气体(688548)
持股比例：3.90 %，持股数量：2654.93万，变动情况：492.35万

中熔电气(301031)
持股比例：2.51 %，持股数量：119.77万，变动情况：-5.23万

联赢激光(688518)
持股比例：2.50 %，持股数量：852.32万，变动情况：不变

联赢激光(688518)
持股比例：2.50 %，持股数量：852.32万，变动情况：不变

云路股份(688190)
持股比例：2.46 %，持股数量：295.07万，变动情况：51.12万

云路股份(688190)
持股比例：2.46 %，持股数量：295.07万，变动情况：51.12万

慕思股份(001323)
持股比例：2.44 %，持股数量：189.99万，变动情况：-14.17万

精测电子(300567)
持股比例：2.40 %，持股数量：485.48万，变动情况：80.99万

奕瑞科技(688301)
持股比例：2.23 %，持股数量：319.73万，变动情况：不变

安集科技(688019)
持股比例：2.22 %，持股数量：287.32万，变动情况：28.23万

安集科技(688019)
持股比例：2.22 %，持股数量：287.32万，变动情况：28.23万

三棵树(603737)
持股比例：2.07 %，持股数量：1089.12万，变动情况：98.81万

三棵树(603737)
持股比例：2.07 %，持股数量：1089.12万，变动情况：98.81万

广钢气体(688548)
持股比例：2.01 %，持股数量：2654.93万，变动情况：492.35万

精测电子(300567)
持股比例：1.74 %，持股数量：485.48万，变动情况：80.99万

普源精电(688337)
持股比例：1.73 %，持股数量：335.44万，变动情况：67.32万

旗滨集团(601636)
持股比例：1.70 %，持股数量：4561.22万，变动情况：新进

旗滨集团(601636)
持股比例：1.70 %，持股数量：4561.22万，变动情况：新进

美年健康(002044)
持股比例：1.35 %，持股数量：5240.26万，变动情况：新进

美年健康(002044)
持股比例：1.34 %，持股数量：5240.26万，变动情况：新进

睿创微纳(688002)
持股比例：1.26 %，持股数量：572.05万，变动情况：-22.58万

睿创微纳(688002)
持股比例：1.26 %，持股数量：572.05万，变动情况：-22.58万

华大智造(688114)
持股比例：1.16 %，持股数量：246.58万，变动情况：新进

中矿资源(002738)
持股比例：1.13 %，持股数量：804.65万，变动情况：新进

江丰电子(300666)
持股比例：1.12 %，持股数量：247.52万，变动情况：新进

中矿资源(002738)
持股比例：1.12 %，持股数量：804.65万，变动情况：新进

正帆科技(688596)
持股比例：1.09 %，持股数量：317.80万，变动情况：不变

正帆科技(688596)
持股比例：1.09 %，持股数量：317.80万，变动情况：不变

金博股份(688598)
持股比例：0.95 %，持股数量：193.81万，变动情况：新进

金博股份(688598)
持股比例：0.95 %，持股数量：193.81万，变动情况：新进

东材科技(601208)
持股比例：0.86 %，持股数量：774.07万，变动情况：-769.49万

东材科技(601208)
持股比例：0.86 %，持股数量：774.07万，变动情况：-769.49万

欣旺达(300207)
持股比例：0.75 %，持股数量：1287.09万，变动情况：新进

联瑞新材(688300)
持股比例：0.67 %，持股数量：124.29万，变动情况：新进

联瑞新材(688300)
持股比例：0.67 %，持股数量：124.29万，变动情况：新进

光威复材(300699)
持股比例：0.64 %，持股数量：526.73万，变动情况：新进

光威复材(300699)
持股比例：0.63 %，持股数量：526.73万，变动情况：新进

华工科技(000988)
持股比例：0.59 %，持股数量：597.94万，变动情况：不变

华工科技(000988)
持股比例：0.59 %，持股数量：597.94万，变动情况：不变