茂莱光学(688502)
持股比例：6.56 %，持股数量：110.14万，变动情况：不变

达梦数据(688692)
持股比例：6.34 %，持股数量：96.33万，变动情况：不变

唯捷创芯(688153)
持股比例：6.10 %，持股数量：693.39万，变动情况：-68.66万

中科飞测(688361)
持股比例：5.51 %，持股数量：1345.33万，变动情况：不变

华大九天(301269)
持股比例：4.48 %，持股数量：1174.72万，变动情况：不变

中科飞测(688361)
持股比例：4.20 %，持股数量：1345.33万，变动情况：不变

圣邦股份(300661)
持股比例：3.46 %，持股数量：1570.36万，变动情况：不变

圣邦股份(300661)
持股比例：3.32 %，持股数量：1570.36万，变动情况：不变

拓荆科技(688072)
持股比例：3.05 %，持股数量：473.36万，变动情况：不变

芯原股份(688521)
持股比例：2.58 %，持股数量：1287.70万，变动情况：-97.40万

芯原股份(688521)
持股比例：2.57 %，持股数量：1287.70万，变动情况：-97.40万

华大九天(301269)
持股比例：2.16 %，持股数量：1174.72万，变动情况：不变

茂莱光学(688502)
持股比例：2.09 %，持股数量：110.14万，变动情况：不变

先锋精科(688605)
持股比例：1.71 %，持股数量：64.90万，变动情况：新进

拓荆科技(688072)
持股比例：1.69 %，持股数量：473.36万，变动情况：不变

沪硅产业(688126)
持股比例：1.54 %，持股数量：4177.62万，变动情况：新进

沪硅产业(688126)
持股比例：1.52 %，持股数量：4177.62万，变动情况：新进

索辰科技(688507)
持股比例：1.50 %，持股数量：73.00万，变动情况：不变

盛科通信-U(688702)
持股比例：1.40 %，持股数量：281.60万，变动情况：不变

概伦电子(688206)
持股比例：1.33 %，持股数量：236.28万，变动情况：不变

中微公司(688012)
持股比例：1.26 %，持股数量：786.72万，变动情况：新进

中微公司(688012)
持股比例：1.26 %，持股数量：786.72万，变动情况：新进

兆易创新(603986)
持股比例：1.08 %，持股数量：718.13万，变动情况：-735.29万

兆易创新(603986)
持股比例：1.08 %，持股数量：718.13万，变动情况：-735.29万

易华录(300212)
持股比例：1.07 %，持股数量：750.59万，变动情况：30.90万

易华录(300212)
持股比例：1.04 %，持股数量：750.59万，变动情况：30.90万

盛美上海(688082)
持股比例：0.95 %，持股数量：413.68万，变动情况：-44.60万

盛美上海(688082)
持股比例：0.94 %，持股数量：413.68万，变动情况：-44.60万

中国软件(600536)
持股比例：0.93 %，持股数量：785.93万，变动情况：187.39万

中国软件(600536)
持股比例：0.92 %，持股数量：785.93万，变动情况：187.39万

北方华创(002371)
持股比例：0.71 %，持股数量：381.55万，变动情况：-8.79万

北方华创(002371)
持股比例：0.71 %，持股数量：381.55万，变动情况：-8.79万

晶瑞电材(300655)
持股比例：0.66 %，持股数量：660.61万，变动情况：-1066.88万

晶瑞电材(300655)
持股比例：0.62 %，持股数量：660.61万，变动情况：-1066.88万