1 、南大光电(300346)
持股市值：36852万，持股比例：1.11 %，变动情况：新进

2 、雅克科技(002409)
持股市值：32712万，持股比例：0.94 %，变动情况：新进

3 、安集科技(688019)
持股市值：24912万，持股比例：0.72 %，变动情况：新进

4 、立昂微(605358)
持股市值：20910万，持股比例：0.85 %，变动情况：新进

5 、晶瑞电材(300655)
持股市值：16072万，持股比例：0.82 %，变动情况：493.62万

6 、中巨芯-U(688549)
持股市值：14204万，持股比例：1.06 %，变动情况：新进

7 、彤程新材(603650)
持股市值：13244万，持股比例：0.43 %，变动情况：新进

8 、有研新材(600206)
持股市值：12654万，持股比例：0.74 %，变动情况：355.29万

9 、有研硅(688432)
持股市值：12089万，持股比例：0.77 %，变动情况：新进

10 、先导基电(600641)
持股市值：10557万，持股比例：0.69 %，变动情况：新进

11 、至纯科技(603690)
持股市值：8249万，持股比例：0.73 %，变动情况：新进

12 、神工股份(688233)
持股市值：7245万，持股比例：0.63 %，变动情况：新进

13 、江化微(603078)
持股市值：4544万，持股比例：0.64 %，变动情况：140.57万

14 、康强电子(002119)
持股市值：4514万，持股比例：0.74 %，变动情况：7.77万

15 、三佳科技(600520)
持股市值：3526万，持股比例：0.86 %，变动情况：78.55万

16 、中晶科技(003026)
持股市值：2652万，持股比例：0.68 %，变动情况：35.65万