艾森股份(688720)
持股比例：13.61 %，持股数量：226.30万，变动情况：-16.79万

京仪装备(688652)
持股比例：8.68 %，持股数量：328.87万，变动情况：109.32万

中科飞测-U(688361)
持股比例：8.12 %，持股数量：523.25万，变动情况：110.35万

波长光电(301421)
持股比例：4.49 %，持股数量：129.91万，变动情况：新进

概伦电子(688206)
持股比例：2.60 %，持股数量：460.18万，变动情况：不变

艾森股份(688720)
持股比例：2.57 %，持股数量：226.32万，变动情况：-16.79万

新莱应材(300260)
持股比例：2.56 %，持股数量：736.26万，变动情况：新进

精测电子(300567)
持股比例：2.25 %，持股数量：465.21万，变动情况：46.67万

峰岹科技(688279)
持股比例：2.23 %，持股数量：122.75万，变动情况：-36.04万

富创精密(688409)
持股比例：2.07 %，持股数量：248.77万，变动情况：45.56万

京仪装备(688652)
持股比例：1.96 %，持股数量：328.91万，变动情况：新进

芯源微(688037)
持股比例：1.94 %，持股数量：267.76万，变动情况：不变

芯源微(688037)
持股比例：1.94 %，持股数量：267.76万，变动情况：不变

新莱应材(300260)
持股比例：1.81 %，持股数量：736.26万，变动情况：新进

日发精机(002520)
持股比例：1.69 %，持股数量：1087.22万，变动情况：-71.46万

奥普光电(002338)
持股比例：1.68 %，持股数量：402.79万，变动情况：新进

奥普光电(002338)
持股比例：1.68 %，持股数量：402.79万，变动情况：新进

精测电子(300567)
持股比例：1.67 %，持股数量：465.21万，变动情况：46.67万

拓荆科技(688072)
持股比例：1.44 %，持股数量：147.40万，变动情况：不变

日发精机(002520)
持股比例：1.36 %，持股数量：1087.22万，变动情况：-71.46万

富创精密(688409)
持股比例：1.19 %，持股数量：248.77万，变动情况：新进

波长光电(301421)
持股比例：1.12 %，持股数量：129.91万，变动情况：新进

柯力传感(603662)
持股比例：0.90 %，持股数量：252.80万，变动情况：新进

英杰电气(300820)
持股比例：0.90 %，持股数量：99.18万，变动情况：新进

柯力传感(603662)
持股比例：0.89 %，持股数量：252.80万，变动情况：新进

英杰电气(300820)
持股比例：0.45 %，持股数量：99.18万，变动情况：新进