1 、茂莱光学(688502)
持股市值：181279万，持股比例：8.93 %，变动情况：78.00万

2 、汇成真空(301392)
持股市值：138180万，持股比例：9.80 %，变动情况：232.00万

3 、中科飞测(688361)
持股市值：126324万，持股比例：2.42 %，变动情况：新进

4 、燕东微(688172)
持股市值：86580万，持股比例：2.22 %，变动情况：新进

5 、福晶科技(002222)
持股市值：63130万，持股比例：2.14 %，变动情况：420.00万

6 、波长光电(301421)
持股市值：51840万，持股比例：4.32 %，变动情况：不变

7 、奥普光电(002338)
持股市值：50688万，持股比例：3.96 %，变动情况：660.00万

8 、芯源微(688037)
持股市值：37399万，持股比例：1.49 %，变动情况：新进

9 、洪田股份(603800)
持股市值：27438万，持股比例：2.69 %，变动情况：新进

10 、宝光股份(600379)
持股市值：12753万，持股比例：3.27 %，变动情况：新进

11 、华辰装备(300809)
持股市值：11571万，持股比例：1.33 %，变动情况：新进