信邦智能(301112)
持股比例：2.25 %，持股数量：81.51万，变动情况：48.98万

宏英智能(001266)
持股比例：2.17 %，持股数量：76.45万，变动情况：46.00万

拓邦股份(002139)
持股比例：2.14 %，持股数量：2294.42万，变动情况：1375.60万

夏厦精密(001306)
持股比例：2.14 %，持股数量：33.13万，变动情况：19.51万

丰立智能(301368)
持股比例：2.05 %，持股数量：131.29万，变动情况：78.29万

巨轮智能(002031)
持股比例：2.04 %，持股数量：4049.70万，变动情况：2428.27万

亚威股份(002559)
持股比例：2.02 %，持股数量：1011.61万，变动情况：606.47万

大华股份(002236)
持股比例：1.89 %，持股数量：3992.25万，变动情况：104.70万

巨轮智能(002031)
持股比例：1.84 %，持股数量：4049.70万，变动情况：2428.27万

亚威股份(002559)
持股比例：1.84 %，持股数量：1011.61万，变动情况：606.47万

拓邦股份(002139)
持股比例：1.84 %，持股数量：2294.42万，变动情况：1375.60万

华东数控(002248)
持股比例：1.84 %，持股数量：565.36万，变动情况：338.80万

华东数控(002248)
持股比例：1.84 %，持股数量：565.36万，变动情况：338.80万

拓斯达(300607)
持股比例：1.82 %，持股数量：615.31万，变动情况：369.20万

科大智能(300222)
持股比例：1.81 %，持股数量：1150.07万，变动情况：689.98万

云天励飞-U(688343)
持股比例：1.77 %，持股数量：457.02万，变动情况：新进

科力尔(002892)
持股比例：1.73 %，持股数量：687.78万，变动情况：413.17万

双环传动(002472)
持股比例：1.66 %，持股数量：1245.99万，变动情况：新进

新元科技(300472)
持股比例：1.65 %，持股数量：404.99万，变动情况：242.77万

新时达(002527)
持股比例：1.61 %，持股数量：853.21万，变动情况：新进

海得控制(002184)
持股比例：1.61 %，持股数量：387.85万，变动情况：233.59万

迈赫股份(301199)
持股比例：1.59 %，持股数量：74.20万，变动情况：44.68万

大族激光(002008)
持股比例：1.58 %，持股数量：1549.35万，变动情况：929.02万

禾川科技(688320)
持股比例：1.58 %，持股数量：167.07万，变动情况：新进

雷赛智能(002979)
持股比例：1.56 %，持股数量：339.51万，变动情况：203.85万

科远智慧(002380)
持股比例：1.55 %，持股数量：219.62万，变动情况：131.28万

奥比中光-UW(688322)
持股比例：1.53 %，持股数量：392.93万，变动情况：25.16万

三丰智能(300276)
持股比例：1.52 %，持股数量：1547.34万，变动情况：927.83万

东杰智能(300486)
持股比例：1.52 %，持股数量：601.93万，变动情况：361.62万

机器人(300024)
持股比例：1.50 %，持股数量：2304.50万，变动情况：1381.53万

中控技术(688777)
持股比例：1.49 %，持股数量：1162.85万，变动情况：新进

石头科技(688169)
持股比例：1.49 %，持股数量：275.86万，变动情况：4.12万

石头科技(688169)
持股比例：1.49 %，持股数量：275.86万，变动情况：4.12万

东杰智能(300486)
持股比例：1.48 %，持股数量：601.93万，变动情况：361.62万

科大智能(300222)
持股比例：1.48 %，持股数量：1150.07万，变动情况：689.98万

江苏北人(688218)
持股比例：1.47 %，持股数量：174.57万，变动情况：新进

大族激光(002008)
持股比例：1.47 %，持股数量：1549.35万，变动情况：929.02万

机器人(300024)
持股比例：1.47 %，持股数量：2304.50万，变动情况：1381.53万

江苏北人(688218)
持股比例：1.47 %，持股数量：174.57万，变动情况：新进

中控技术(688777)
持股比例：1.47 %，持股数量：1162.85万，变动情况：新进

新元科技(300472)
持股比例：1.47 %，持股数量：404.99万，变动情况：新进

双环传动(002472)
持股比例：1.47 %，持股数量：1245.99万，变动情况：新进

南网科技(688248)
持股比例：1.36 %，持股数量：311.35万，变动情况：新进

华辰装备(300809)
持股比例：1.32 %，持股数量：186.53万，变动情况：新进

华中数控(300161)
持股比例：1.32 %，持股数量：256.57万，变动情况：154.03万

派斯林(600215)
持股比例：1.31 %，持股数量：597.18万，变动情况：358.30万

瀚川智能(688022)
持股比例：1.29 %，持股数量：226.12万，变动情况：新进

拓斯达(300607)
持股比例：1.29 %，持股数量：615.31万，变动情况：369.20万

华昌达(300278)
持股比例：1.29 %，持股数量：1831.24万，变动情况：620.43万

云天励飞-U(688343)
持股比例：1.29 %，持股数量：457.02万，变动情况：新进

新时达(002527)
持股比例：1.29 %，持股数量：853.21万，变动情况：新进

华昌达(300278)
持股比例：1.29 %，持股数量：1831.24万，变动情况：620.43万

瀚川智能(688022)
持股比例：1.29 %，持股数量：226.12万，变动情况：新进

派斯林(600215)
持股比例：1.29 %，持股数量：597.18万，变动情况：358.30万

华中数控(300161)
持股比例：1.29 %，持股数量：256.57万，变动情况：154.03万

埃斯顿(002747)
持股比例：1.23 %，持股数量：962.89万，变动情况：578.30万

大华股份(002236)
持股比例：1.21 %，持股数量：3992.25万，变动情况：104.70万

绿的谐波(688017)
持股比例：1.20 %，持股数量：202.03万，变动情况：新进

振邦智能(003028)
持股比例：1.16 %，持股数量：62.68万，变动情况：37.90万

瑞松科技(688090)
持股比例：1.13 %，持股数量：106.34万，变动情况：新进

瑞松科技(688090)
持股比例：1.13 %，持股数量：106.34万，变动情况：新进

中大力德(002896)
持股比例：1.11 %，持股数量：167.45万，变动情况：100.57万

科力尔(002892)
持股比例：1.11 %，持股数量：687.78万，变动情况：413.17万

埃斯顿(002747)
持股比例：1.11 %，持股数量：962.89万，变动情况：578.30万

中大力德(002896)
持股比例：1.11 %，持股数量：167.45万，变动情况：100.57万

金自天正(600560)
持股比例：1.11 %，持股数量：247.54万，变动情况：148.62万

燕麦科技(688312)
持股比例：1.11 %，持股数量：160.49万，变动情况：新进

燕麦科技(688312)
持股比例：1.11 %，持股数量：160.49万，变动情况：新进

金自天正(600560)
持股比例：1.11 %，持股数量：247.54万，变动情况：148.62万

海目星(688559)
持股比例：1.10 %，持股数量：272.11万，变动情况：新进

克来机电(603960)
持股比例：1.10 %，持股数量：289.66万，变动情况：173.43万

秦川机床(000837)
持股比例：1.10 %，持股数量：1111.96万，变动情况：666.55万

克来机电(603960)
持股比例：1.10 %，持股数量：289.66万，变动情况：173.43万

海得控制(002184)
持股比例：1.10 %，持股数量：387.85万，变动情况：233.59万

三丰智能(300276)
持股比例：1.10 %，持股数量：1547.34万，变动情况：927.83万

海目星(688559)
持股比例：1.10 %，持股数量：272.11万，变动情况：新进

雷赛智能(002979)
持股比例：1.10 %，持股数量：339.51万，变动情况：203.85万

秦川机床(000837)
持股比例：1.10 %，持股数量：1111.96万，变动情况：666.55万

绿的谐波(688017)
持股比例：1.10 %，持股数量：202.03万，变动情况：新进

丰立智能(301368)
持股比例：1.09 %，持股数量：131.29万，变动情况：新进

亿嘉和(603666)
持股比例：1.09 %，持股数量：224.29万，变动情况：新进

亿嘉和(603666)
持股比例：1.09 %，持股数量：224.29万，变动情况：新进

奥比中光-UW(688322)
持股比例：0.98 %，持股数量：392.93万，变动情况：25.16万

科大讯飞(002230)
持股比例：0.96 %，持股数量：2110.16万，变动情况：新进

科远智慧(002380)
持股比例：0.92 %，持股数量：219.62万，变动情况：131.28万

弘讯科技(603015)
持股比例：0.92 %，持股数量：371.33万，变动情况：222.44万

弘讯科技(603015)
持股比例：0.92 %，持股数量：371.33万，变动情况：222.44万

科大讯飞(002230)
持股比例：0.91 %，持股数量：2110.16万，变动情况：新进

盈峰环境(000967)
持股比例：0.81 %，持股数量：2559.24万，变动情况：226.35万

盈峰环境(000967)
持股比例：0.81 %，持股数量：2559.24万，变动情况：226.35万

伟创电气(688698)
持股比例：0.74 %，持股数量：156.29万，变动情况：新进

快克智能(603203)
持股比例：0.74 %，持股数量：183.20万，变动情况：新进

均普智能(688306)
持股比例：0.74 %，持股数量：903.69万，变动情况：541.70万

华辰装备(300809)
持股比例：0.74 %，持股数量：186.53万，变动情况：新进

科沃斯(603486)
持股比例：0.74 %，持股数量：423.97万，变动情况：新进

伟创电气(688698)
持股比例：0.74 %，持股数量：156.29万，变动情况：新进

均普智能(688306)
持股比例：0.74 %，持股数量：903.69万，变动情况：541.70万

中信重工(601608)
持股比例：0.74 %，持股数量：3349.96万，变动情况：新进

科瑞技术(002957)
持股比例：0.74 %，持股数量：301.48万，变动情况：180.46万

天准科技(688003)
持股比例：0.74 %，持股数量：143.60万，变动情况：新进