1 、科大讯飞(002230)
持股市值：188928万，持股比例：1.64 %，变动情况：670.27万

2 、大华股份(002236)
持股市值：157380万，持股比例：2.58 %，变动情况：1017.67万

3 、中控技术(688777)
持股市值：94954万，持股比例：2.41 %，变动情况：143.97万

4 、大族激光(002008)
持股市值：93170万，持股比例：2.42 %，变动情况：433.56万

5 、石头科技(688169)
持股市值：87560万，持股比例：2.20 %，变动情况：106.51万

6 、双环传动(002472)
持股市值：85709万，持股比例：2.47 %，变动情况：348.68万

7 、云天励飞-U(688343)
持股市值：67340万，持股比例：2.59 %，变动情况：127.90万

8 、奥比中光-UW(688322)
持股市值：62146万，持股比例：1.93 %，变动情况：11.95万

9 、机器人(300024)
持股市值：60256万，持股比例：2.24 %，变动情况：645.62万

10 、拓邦股份(002139)
持股市值：55212万，持股比例：3.21 %，变动情况：641.05万

11 、科沃斯(603486)
持股市值：51615万，持股比例：1.11 %，变动情况：116.62万

12 、巨轮智能(002031)
持股市值：51480万，持股比例：3.12 %，变动情况：1130.76万

13 、南网科技(688248)
持股市值：50796万，持股比例：2.04 %，变动情况：87.20万

14 、绿的谐波(688017)
持股市值：47355万，持股比例：1.65 %，变动情况：56.57万

15 、拓斯达(300607)
持股市值：37672万，持股比例：2.77 %，变动情况：171.63万

16 、埃斯顿(002747)
持股市值：34587万，持股比例：1.83 %，变动情况：267.46万

17 、中信重工(601608)
持股市值：34188万，持股比例：1.11 %，变动情况：942.59万

18 、鸣志电器(603728)
持股市值：30140万，持股比例：1.10 %，变动情况：86.16万

19 、雷赛智能(002979)
持股市值：28060万，持股比例：2.30 %，变动情况：94.88万

20 、博杰股份(002975)
持股市值：28024万，持股比例：2.48 %，变动情况：48.89万

21 、三丰智能(300276)
持股市值：27156万，持股比例：2.19 %，变动情况：432.22万

22 、中大力德(002896)
持股市值：26895万，持股比例：1.65 %，变动情况：60.60万

23 、新时达(002527)
持股市值：24100万，持股比例：2.41 %，变动情况：238.63万

24 、江苏雷利(300660)
持股市值：23980万，持股比例：1.10 %，变动情况：91.99万

25 、海目星(688559)
持股市值：23433万，持股比例：2.19 %，变动情况：125.73万

26 、盈峰环境(000967)
持股市值：23430万，持股比例：1.10 %，变动情况：651.26万

27 、科大智能(300222)
持股市值：22950万，持股比例：2.70 %，变动情况：320.12万

28 、科力尔(002892)
持股市值：22842万，持股比例：2.43 %，变动情况：148.62万

29 、丰立智能(301368)
持股市值：21420万，持股比例：3.15 %，变动情况：41.43万

30 、秦川机床(000837)
持股市值：21042万，持股比例：1.67 %，变动情况：314.64万

31 、华辰装备(300809)
持股市值：20097万，持股比例：2.31 %，变动情况：65.21万

32 、伟创电气(688698)
持股市值：19729万，持股比例：1.09 %，变动情况：43.43万

33 、晶品特装(688084)
持股市值：17169万，持股比例：2.91 %，变动情况：20.81万

34 、亚威股份(002559)
持股市值：16665万，持股比例：3.03 %，变动情况：282.63万

35 、夏厦精密(001306)
持股市值：16626万，持股比例：3.26 %，变动情况：9.59万

36 、东杰智能(300486)
持股市值：15510万，持股比例：1.65 %，变动情况：146.68万

37 、华昌达(300278)
持股市值：15247万，持股比例：1.93 %，变动情况：510.66万

38 、科远智慧(002380)
持股市值：14912万，持股比例：2.33 %，变动情况：61.71万

39 、天准科技(688003)
持股市值：14659万，持股比例：1.37 %，变动情况：49.71万

40 、均普智能(688306)
持股市值：14630万，持股比例：1.10 %，变动情况：252.72万

41 、天智航-U(688277)
持股市值：12931万，持股比例：1.93 %，变动情况：162.85万

42 、科德数控(688305)
持股市值：12358万，持股比例：1.67 %，变动情况：41.05万

43 、博众精工(688097)
持股市值：12118万，持股比例：0.83 %，变动情况：68.98万

44 、国茂股份(603915)
持股市值：12100万，持股比例：1.10 %，变动情况：135.34万

45 、埃夫特-U(688165)
持股市值：11770万，持股比例：1.10 %，变动情况：107.30万

46 、奥普特(688686)
持股市值：11480万，持股比例：0.82 %，变动情况：21.03万

47 、华中数控(300161)
持股市值：11032万，持股比例：1.97 %，变动情况：71.49万

48 、禾川科技(688320)
持股市值：11025万，持股比例：2.25 %，变动情况：46.57万

49 、海得控制(002184)
持股市值：10890万，持股比例：2.42 %，变动情况：108.57万

50 、矩子科技(300802)
持股市值：10348万，持股比例：1.99 %，变动情况：74.35万

51 、华东数控(002248)
持股市值：10175万，持股比例：2.75 %，变动情况：158.09万

52 、亿嘉和(603666)
持股市值：10126万，持股比例：1.66 %，变动情况：63.73万

53 、景业智能(688290)
持股市值：9313万，持股比例：1.39 %，变动情况：23.78万

54 、科瑞技术(002957)
持股市值：9020万，持股比例：1.10 %，变动情况：86.39万

55 、迈赫股份(301199)
持股市值：8600万，持股比例：2.15 %，变动情况：28.80万

56 、快克智能(603203)
持股市值：8580万，持股比例：1.10 %，变动情况：51.20万

57 、克来机电(603960)
持股市值：8466万，持股比例：1.66 %，变动情况：80.88万

58 、步科股份(688160)
持股市值：8184万，持股比例：0.88 %，变动情况：3100.00

59 、燕麦科技(688312)
持股市值：7755万，持股比例：1.65 %，变动情况：44.85万

60 、振邦智能(003028)
持股市值：7140万，持股比例：1.70 %，变动情况：22.30万

61 、瑞松科技(688090)
持股市值：7138万，持股比例：1.66 %，变动情况：36.98万

62 、弘讯科技(603015)
持股市值：6900万，持股比例：1.38 %，变动情况：103.86万

63 、派斯林(600215)
持股市值：6045万，持股比例：1.95 %，变动情况：166.39万

64 、金自天正(600560)
持股市值：5940万，持股比例：1.65 %，变动情况：68.72万

65 、凯尔达(688255)
持股市值：5810万，持股比例：1.66 %，变动情况：33.37万

66 、宏英智能(001266)
持股市值：5742万，持股比例：1.98 %，变动情况：21.20万

67 、江苏北人(688218)
持股市值：5500万，持股比例：2.20 %，变动情况：48.78万

68 、瀚川智能(688022)
持股市值：5018万，持股比例：1.93 %，变动情况：63.23万

69 、信邦智能(301112)
持股市值：4620万，持股比例：1.10 %，变动情况：22.67万