汇成真空(301392)
持股比例：5.27 %，持股数量：118.50万，变动情况：新进

波长光电(301421)
持股比例：3.64 %，持股数量：168.65万，变动情况：91.65万

茂莱光学(688502)
持股比例：3.21 %，持股数量：53.88万，变动情况：4.63万

磁谷科技(688448)
持股比例：1.96 %，持股数量：93.80万，变动情况：-11.74万

波长光电(301421)
持股比例：1.46 %，持股数量：168.65万，变动情况：91.65万

福光股份(688010)
持股比例：1.40 %，持股数量：224.00万，变动情况：新进

华辰装备(300809)
持股比例：1.22 %，持股数量：172.28万，变动情况：新进

茂莱光学(688502)
持股比例：1.02 %，持股数量：53.88万，变动情况：4.63万

福晶科技(002222)
持股比例：0.56 %，持股数量：261.00万，变动情况：新进