航材股份(688563)
持股比例：4.44 %，持股数量：325.08万，变动情况：新进

盛美上海(688082)
持股比例：4.08 %，持股数量：309.23万，变动情况：79.02万

晶合集成(688249)
持股比例：4.05 %，持股数量：1522.50万，变动情况：新进

海光信息(688041)
持股比例：3.77 %，持股数量：3316.63万，变动情况：318.79万

阿特斯(688472)
持股比例：3.55 %，持股数量：1591.11万，变动情况：新进

华大智造(688114)
持股比例：3.47 %，持股数量：737.07万，变动情况：246.90万

禾迈股份(688032)
持股比例：3.40 %，持股数量：142.59万，变动情况：3.54万

拓荆科技(688072)
持股比例：3.37 %，持股数量：345.51万，变动情况：34.92万

三一重能(688349)
持股比例：3.34 %，持股数量：615.79万，变动情况：170.12万

大全能源(688303)
持股比例：3.13 %，持股数量：1627.06万，变动情况：-353.54万

华海清科(688120)
持股比例：2.96 %，持股数量：334.93万，变动情况：-16.54万

中复神鹰(688295)
持股比例：2.94 %，持股数量：402.03万，变动情况：107.77万

澜起科技(688008)
持股比例：2.86 %，持股数量：3262.46万，变动情况：360.39万

澜起科技(688008)
持股比例：2.86 %，持股数量：3262.46万，变动情况：360.39万

容百科技(688005)
持股比例：2.65 %，持股数量：751.48万，变动情况：119.28万

华熙生物(688363)
持股比例：2.63 %，持股数量：521.94万，变动情况：23.16万

翱捷科技-U(688220)
持股比例：2.56 %，持股数量：573.68万，变动情况：-108.69万

和辉光电-U(688538)
持股比例：2.54 %，持股数量：1.46亿，变动情况：3756.25万

中控技术(688777)
持股比例：2.53 %，持股数量：1966.68万，变动情况：437.96万

中微公司(688012)
持股比例：2.51 %，持股数量：1557.36万，变动情况：266.83万

中微公司(688012)
持股比例：2.51 %，持股数量：1557.36万，变动情况：266.83万

联影医疗(688271)
持股比例：2.50 %，持股数量：1474.08万，变动情况：新进

中控技术(688777)
持股比例：2.49 %，持股数量：1966.68万，变动情况：437.96万

固德威(688390)
持股比例：2.40 %，持股数量：414.64万，变动情况：41.84万

固德威(688390)
持股比例：2.40 %，持股数量：414.64万，变动情况：41.84万

格科微(688728)
持股比例：2.39 %，持股数量：2665.87万，变动情况：688.80万

天岳先进(688234)
持股比例：2.29 %，持股数量：605.02万，变动情况：183.89万

寒武纪-U(688256)
持股比例：2.23 %，持股数量：562.68万，变动情况：65.00万

晶晨股份(688099)
持股比例：2.23 %，持股数量：927.19万，变动情况：64.82万

晶晨股份(688099)
持股比例：2.23 %，持股数量：927.19万，变动情况：64.82万

芯原股份(688521)
持股比例：2.18 %，持股数量：1071.27万，变动情况：新进

沪硅产业(688126)
持股比例：2.17 %，持股数量：5916.01万，变动情况：1283.10万

沪硅产业(688126)
持股比例：2.15 %，持股数量：5916.01万，变动情况：1283.10万

芯原股份(688521)
持股比例：2.14 %，持股数量：1071.27万，变动情况：新进

石头科技(688169)
持股比例：2.14 %，持股数量：281.07万，变动情况：70.22万

华海清科(688120)
持股比例：2.11 %，持股数量：334.93万，变动情况：-16.54万

昱能科技(688348)
持股比例：1.99 %，持股数量：113.40万，变动情况：9.45万

西部超导(688122)
持股比例：1.94 %，持股数量：1260.52万，变动情况：-218.12万

西部超导(688122)
持股比例：1.94 %，持股数量：1260.52万，变动情况：-218.12万

奇安信-U(688561)
持股比例：1.92 %，持股数量：980.04万，变动情况：212.88万

派能科技(688063)
持股比例：1.86 %，持股数量：325.83万，变动情况：8.89万

派能科技(688063)
持股比例：1.86 %，持股数量：325.83万，变动情况：8.89万

龙芯中科(688047)
持股比例：1.86 %，持股数量：517.78万，变动情况：151.84万

拓荆科技(688072)
持股比例：1.84 %，持股数量：345.51万，变动情况：34.92万

金山办公(688111)
持股比例：1.79 %，持股数量：826.89万，变动情况：145.38万

金山办公(688111)
持股比例：1.79 %，持股数量：826.89万，变动情况：145.38万

天合光能(688599)
持股比例：1.78 %，持股数量：3881.28万，变动情况：878.13万

天合光能(688599)
持股比例：1.78 %，持股数量：3881.28万，变动情况：878.13万

华大智造(688114)
持股比例：1.77 %，持股数量：737.07万，变动情况：新进

中无人机(688297)
持股比例：1.76 %，持股数量：467.90万，变动情况：110.46万

禾迈股份(688032)
持股比例：1.71 %，持股数量：142.59万，变动情况：3.54万

容百科技(688005)
持股比例：1.55 %，持股数量：751.48万，变动情况：新进

传音控股(688036)
持股比例：1.44 %，持股数量：1160.18万，变动情况：252.47万

传音控股(688036)
持股比例：1.44 %，持股数量：1160.18万，变动情况：252.47万

海光信息(688041)
持股比例：1.43 %，持股数量：3316.63万，变动情况：318.79万

奇安信-U(688561)
持股比例：1.43 %，持股数量：980.04万，变动情况：新进

天岳先进(688234)
持股比例：1.41 %，持股数量：605.02万，变动情况：183.89万

华润微(688396)
持股比例：1.40 %，持股数量：1856.73万，变动情况：540.99万

华润微(688396)
持股比例：1.40 %，持股数量：1856.73万，变动情况：540.99万

柏楚电子(688188)
持股比例：1.35 %，持股数量：197.19万，变动情况：49.62万

寒武纪-U(688256)
持股比例：1.35 %，持股数量：562.68万，变动情况：65.00万

柏楚电子(688188)
持股比例：1.35 %，持股数量：197.19万，变动情况：49.62万

君实生物-U(688180)
持股比例：1.30 %，持股数量：1281.27万，变动情况：54.35万

君实生物-U(688180)
持股比例：1.30 %，持股数量：1281.27万，变动情况：54.35万

复旦微电(688385)
持股比例：1.15 %，持股数量：694.05万，变动情况：-111.02万

时代电气(688187)
持股比例：1.11 %，持股数量：896.49万，变动情况：201.39万

华熙生物(688363)
持股比例：1.08 %，持股数量：521.94万，变动情况：23.16万

和辉光电-U(688538)
持股比例：1.05 %，持股数量：1.46亿，变动情况：3756.25万

格科微(688728)
持股比例：1.03 %，持股数量：2665.87万，变动情况：新进

中国通号(688009)
持股比例：0.91 %，持股数量：9625.66万，变动情况：2397.73万

复旦微电(688385)
持股比例：0.85 %，持股数量：694.05万，变动情况：-111.02万

大全能源(688303)
持股比例：0.76 %，持股数量：1627.06万，变动情况：-353.54万

盛美上海(688082)
持股比例：0.71 %，持股数量：309.23万，变动情况：79.02万

中芯国际(688981)
持股比例：0.70 %，持股数量：5551.04万，变动情况：135.31万

中芯国际(688981)
持股比例：0.70 %，持股数量：5551.04万，变动情况：135.31万

国博电子(688375)
持股比例：0.63 %，持股数量：105.57万，变动情况：27.31万

时代电气(688187)
持股比例：0.63 %，持股数量：896.49万，变动情况：201.39万

中复神鹰(688295)
持股比例：0.45 %，持股数量：402.03万，变动情况：107.77万