《《十大流通股东》》

中微半导体设备(上海)股份有限公司
持股比例：13.22 %，持股数量：2051.63万 ，变动情况：不变

华夏上证科创板50成份ETF
持股比例：5.07 %，持股数量：787.40万 ，变动情况：-132.96万

香港中央结算有限公司
持股比例：3.63 %，持股数量：563.52万 ，变动情况：22.53万

易方达上证科创板50ETF
持股比例：3.61 %，持股数量：559.77万 ，变动情况：-22.62万

诺安成长混合
持股比例：3.05 %，持股数量：473.36万 ，变动情况：不变

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
持股比例：2.76 %，持股数量：428.54万 ，变动情况：不变

嘉实上证科创板芯片ETF
持股比例：1.93 %，持股数量：300.20万 ，变动情况：3100.00

银华集成电路混合A
持股比例：1.74 %，持股数量：269.45万 ，变动情况：21.61万

国新投资有限公司
持股比例：1.68 %，持股数量：261.49万 ，变动情况：新进

华夏国证半导体芯片ETF
持股比例：1.56 %，持股数量：241.43万 ，变动情况：-8.78万

《《十大股东》》

国家集成电路产业投资基金股份有限公司
持股比例：19.67 %，持股数量：5502.67万，变动情况：不变

国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)
持股比例：13.54 %，持股数量：3788.80万，变动情况：不变

中微半导体设备(上海)股份有限公司
持股比例：7.33 %，持股数量：2051.63万，变动情况：不变

华夏上证科创板50成份ETF
持股比例：2.81 %，持股数量：787.40万，变动情况：-132.96万

香港中央结算有限公司
持股比例：2.01 %，持股数量：563.52万，变动情况：22.53万

易方达上证科创板50ETF
持股比例：2.00 %，持股数量：559.77万，变动情况：-22.62万

诺安成长混合
持股比例：1.69 %，持股数量：473.36万，变动情况：不变

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
持股比例：1.53 %，持股数量：428.54万，变动情况：不变

共青城芯鑫和投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：1.08 %，持股数量：302.49万，变动情况：不变

共青城芯鑫全投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：1.08 %，持股数量：302.39万，变动情况：不变

实控人：--

最终控制人：--