研究机构TECHCET日前预测，用于ALD/CVD工艺的前驱体材料市场规模将在2022年达到8.35亿美元，较2021年增长近13%。该机构还指出，设备商正积极寻找更具性价比的解决方案，将进一步增加CVD特别是ALD工艺材料的应用，改进器件的未来技术将促进新前体开发。薄膜均匀性、沉积覆盖率和完整性都是满足可制造性和产量要求的必要条件，高选择性沉积在过去5年中正越来越受关注。
（文章来源：财联社）