芯源微近期接受投资者调研时称，公司目前在沈阳有两个产区，沈阳飞云路厂区主要是做后道和小尺寸，沈阳彩云路新厂区主要做是前道Track和前道物理清洗机。公司的上海临港厂区目前已经在建设中，未来会生产更高端的设备。目前来看沈阳彩云路新厂区已经基本达到了满产，公司整体生产压力还是比较大的，后续会视订单情况进一步对产能进行补充。

（文章来源：界面新闻）