日前，莱伯泰科发布公告称，公司正式公开发布针对半导体行业研发生产的电感耦合等离子体三重四极杆质谱仪LabMS 5000 ICP-MS/MS，且产品已取得订单并实现发货。
　　公司称，3月10日，莱伯泰科召开“致知力行踵事增华--莱伯泰科半导体行业三重四极杆质谱新品发布会”。LabMS 5000 ICP-MS/MS主要针对半导体行业应用，可用于监控半导体硅材料、第三代半导体材料、湿电子化学品、电子特气、制程溶剂/光刻胶等的无机元素污染，已通过半导体行业SEMI S2、SEMI E78认证，助力半导体芯片企业制造商控制产品质量，提升良率。
　　资料显示，2021年5月20日，莱伯泰科正式对外发布了电感耦合等离子体质谱仪LabMS 3000 ICP-MS，并在多个领域实现了产品销售，首次实现了国产ICP-MS在半导体行业芯片生产线上的应用，打破了国外产品的长期垄断。LabMS 5000 ICP-MS/MS 是在LabMS 3000 ICP-MS产品的基础上推出的全新一代三重四极杆质谱仪，主要用于无机元素检测。
（文章来源：上海证券报·中国证券网）