万业企业：低能大束流离子注入机等均已通过主流12英寸集成电路芯片制造工厂验证验收
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万业企业：低能大束流离子注入机等均已通过主流12英寸集成电路芯片制造工厂验证验收
2023-04-21 10:45:00
万业企业4月21日在互动平台表示，凯世通自主研发的低能大束流离子注入机、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机，均已相继通过主流12英寸集成电路芯片制造工厂的验证验收。感谢您对公司的关注！
（文章来源：界面新闻）
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