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大族激光:接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化
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大族激光:接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化
2023-04-26 15:08:00
大族激光
4月26日在互动平台表示,目前,公司光刻机项目主要应用在分立器件领域,分辨率3-5μm;其中,接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化。
(文章来源:界面新闻)
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