大族激光：接近式光刻机已投入市场 步进式光刻机已启动用户优化
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大族激光：接近式光刻机已投入市场 步进式光刻机已启动用户优化
2023-09-16 12:43:00
大族激光在互动平台表示，目前，公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划，并加大研发核心部件国产化。
（文章来源：证券时报）
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