炬光科技：目前公司产品已经用于KrF、ArF、ArF浸没式等DUV光刻机
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炬光科技：目前公司产品已经用于KrF、ArF、ArF浸没式等DUV光刻机
2023-09-18 20:55:00
炬光科技在互动平台表示，公司的光场匀化器产品供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。公司根据客户的不同型号需求，匹配不同波长的光场匀化器，目前产品已经用于KrF, ArF, ArF浸没式等DUV光刻机。公司光场匀化器产品目前没有用于EUV光刻机，由于EUV光刻机和DUV光刻机光学工作原理不同。
（文章来源：财联社）
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