中国有研集成电路用高纯溅射靶材项目正式投产
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中国有研集成电路用高纯溅射靶材项目正式投产
2023-09-21 15:23:00
据“中国有研”消息，9月20日，中国有研科技集团有限公司所属企业有研亿金新材料有限公司“集成电路用高纯溅射靶材项目”在山东德州正式投产。有研亿金（山东）基地总面积140亩，建设投资约6亿元，项目达产后将实现先进制程所需高端靶材规模化量产。
（文章来源：界面新闻）
（文章来源：界面新闻）
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