国内首条12英寸MEMS量产线封顶 大湾区迎来第四座12英寸晶圆厂

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国内首条12英寸MEMS量产线封顶 大湾区迎来第四座12英寸晶圆厂
2023-09-22 10:11:00
大湾区迎来第四座12英寸晶圆厂。
  9月20日,广州增芯科技12英寸智能传感器晶圆量产线项目封顶。这是继7月粤芯半导体三期主厂房封顶后,广东第四个12英寸晶圆生产线项目。
  官方表示,这是国内首条12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造产线。根据规划,增芯项目预计在2024年投产,将建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS(微机电系统)制造生产线。
  MEMS被视为未来传感器最重要的类型之一,指利用集成电路制造技术和微机械加工技术,把微传感器、微执行器制造在一块芯片上的微型集成系统。广州增芯科技有限公司总经理张亮表示,智能传感器芯片可以应用在电子产品、智慧交通、互联网大数据传输等方面。
  “现在的手机都有应用大量的传感器,例如结合陀螺仪和加速度计,可以为终端用户提供更真实的用户体验、精准的导航系统及其他功能,具体用途包括体感技术、摇一摇、隧道中在GPS没有信号时根据物体运动状态实现惯性导航。”张亮说道。
  此外,增芯项目产出的传感器芯片还可适用于下游产业的超高清显示屏内,从而使超高清显示屏能够根据外界变化,自动调整显示参数或识别物主信息。
  截至目前,大湾区一共有四座12英寸晶圆厂。位于深圳的有华润微电子12英寸晶圆厂和中芯国际12英寸晶圆厂。前者主要应用于汽车电子、新能源、工业控制、消费电子等领域,聚焦40纳米以上模拟芯片的特色工艺;后者面向显示驱动、图像传感以及电源管理产品,聚焦28纳米及以上工艺节点的生产。两座晶圆厂的规划总产能均为4万片/月。
  广州除了增芯科技,还包括粤芯半导体。7月28日,粤芯半导体新建12英寸集成电路模拟特色工艺生产线项目(三期)主厂房封顶,接下来将进入洁净室和动力安装建设阶段,预计明年年初搬入工艺设备。
  粤芯半导体是大湾区首家量产的12英寸芯片制造企业。此前,粤芯半导体厂务资深总监杨洪接受界面新闻采访时表示,一期、二期面向消费类电子,未来三期、四期会瞄准工业电子和汽车电子,“一至四期建设全部投产后,将实现月产12万片12寸晶圆的高端模拟芯片制造产能规模,达产后主要为了解决市场上的结构性缺芯问题。”
  目前,集成电路的发展有两条技术主线:晶圆尺寸的扩大和芯片制程技术的提升。杨洪告诉记者,市面上常见到的是6英寸和8英寸,直径越大、面积越大,单个可切割的芯片数量就越多,覆盖的产品更多,同时对生产技术和材料要求更高。
  “物联网、汽车电子、人工智能、5G等新兴应用,也要求芯片的高性能。”杨洪说。以汽车为例,面积更大的晶圆通过提升电子设备对信号的处理速度,使汽车在传动控制、车轮调节、新能源电池管理、高级驾驶辅助等方面更易于操控。
  半导体生产主要涵盖芯片设计、晶圆制造、封装测试三大环节。随着更多高规格12英寸晶圆厂的落地,大湾区试图突围集成电路发展失衡的困境,打造中国集成电路第三极。
  广东在晶圆制造和封测方面存在明显短板。2022年,广东半导体集成电路产业营收为2268.18亿元,其中集成电路设计业营收为1265.12亿元,芯片设计一业独大。制造业则弱势明显,营收仅52.63亿元,占比仅2.3%。
  相比之下,产业规模上,长三角占据了全国近半壁江山;而从产业链完整程度上,长三角拥有最完整的芯片产业链。
  粤澳半导体产业基金、执行事务合伙人李进先曾分析,广东集成电路制造领域发展薄弱,是因为其过度市场化和开放,集成电路产业在制造端相对周期更长、投入量更大。从整个产业链角度来看,新增晶圆厂和封装厂是未来大湾区发展集成电路的重心。
  在政策端,2020年9月的发布《广东省培育半导体及集成电路战略性新兴产业集群行动计划(2021—2025年)》指出,广东集成电路产业要走差异化的发展道路,重点在特色工艺制程和已有一定基础的功率器件、第三代半导体方面发力,重点发展模拟芯片、功率器件和第三代半导体器件等。这也与上述几家12英寸晶圆制造厂的产线方向相互呼应。
(文章来源:界面新闻)
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