上证报中国证券网讯（记者李兴彩）近日，万业企业旗下控股子公司嘉芯半导体设备科技有限公司（简称“嘉芯半导体”）在嘉兴投资建造的新研发制造基地正式建成启用。万业企业副总裁、嘉芯半导体董事长兼CEO周伟芳接受了上海证券报记者的采访，其表示，嘉芯半导体主打多产品线成熟制程设备，万业企业另一控股子公司凯世通专精于核心前道设备之一的离子注入机设备，二者共同驱动万业企业更快发展。

　　周伟芳介绍，嘉芯半导体的定位是成熟制程设备，目前其旗下有子公司嘉芯迦能、嘉芯闳扬和新产品研发部等，业务覆盖刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多类主制程设备以及尾气处理等支撑制程设备，已形成多个半导体前道核心设备产品线，目标覆盖成熟制程晶圆厂采购设备金额比例超过50%。嘉芯半导体新研发制造基地总面积达109亩，14万平方米，正式启动后成为华东地区重要的集成电路前道设备研发制造基地之一。
　　除了多产品线，周伟芳强调，嘉芯半导体的另外一大优势是贴合客户，能够交付整线解决方案。“随着传统晶圆厂以外的更多竞争者进入晶圆制造，如何把重要的设备组合成产线交付给客户，才是考验设备公司的关键；半导体设备公司不仅要有设备的提升，更有零部件、整条产线工艺向上迭代的能力。”
　　据悉，成立至今，嘉芯半导体已成功获得快速热处理（RTP）设备，氮化硅、侧墙、金属等离子刻蚀机，高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD)，掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD），二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD），钛/氮化钛沉积设备（MOCVD），铝铜金属溅射设备（Metal Sputter(Al/Ti/TiN)），双燃烧+双水洗尾气处理设备等多类设备订单，累计订单超4.7亿元。
　　“前道设备的布局正在驱动万业企业加快成长。”谈及万业企业旗下凯世通，周伟芳表示，万业企业旗下凯世通是本土离子注入机龙头，产品正在快速加大市场覆盖面。凯世通是目前国内极少真正实现28nm低能离子注入工艺全覆盖的本土供应商，并率先完成高能离子注入机产线验证及验收。在众多离子注入机机型中，低能大束流离子注入机是先进逻辑、存储芯片制造的关键核心设备，占到离子注入机细分市场的60%，高能和中束流离子注入机分别各占20%市场份额。现阶段，凯世通的核心产品——低能大束流离子注入机，在国内大型产线的产能表现已经能够对标国际先进机台，同时公司还在加速推进离子注入机设备的产品迭代与产品线丰富。
　　“本土半导体产业发展进入下半场，半导体设计公司已开启整合，接下来设备公司也将进入并购重组时刻。”周伟芳强调，面对并购市场机遇，上市公司应坚持审慎性原则，谨慎选择并购时机和并购标的。
（文章来源：上海证券报·中国证券网）