早盘光刻胶概念活跃，阿石创触及20CM涨停，康鹏科技、美埃科技、怡达股份、上海新阳、华懋科技等跟涨。消息面上，据报道，清华大学官网介绍，日前，清华大学化学系许华平教授团队在极紫外（EUV）光刻材料上取得重要进展，开发出一种基于聚碲氧烷的新型光刻胶，为先进半导体制造中的关键材料提供了新的设计策略。