截至8月13日收盘，光刻机概念上涨2.49%，位居概念板块涨幅第9，板块内，29股上涨，中船特气20%涨停，凯美特气、海立股份、洪田股份等涨停，华特气体、百傲化学、中润光学等涨幅居前，分别上涨12.56%、5.01%、4.38%。跌幅居前的有炬光科技、久日新材、张江高科等，分别下跌3.65%、1.91%、1.70%。
　　今日涨跌幅居前的概念板块
概念今日涨跌幅（%）概念今日涨跌幅（%）兵装重组概念5.58中韩自贸区-0.98液冷服务器3.24数字水印-0.58PEEK材料2.84自由贸易港-0.48共封装光学(CPO)2.83煤化工概念-0.45PET铜箔2.72养鸡-0.44铜缆高速连接2.67可燃冰-0.40光纤概念2.55猪肉-0.38中船系2.50航运概念-0.37光刻机2.49互联网保险-0.35英伟达概念2.47化肥-0.34　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流出4.79亿元，其中，17股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超3000万元，净流入资金居首的是大族激光，今日主力资金净流入2.55亿元，净流入资金居前的还有中船特气、凯美特气、富乐德等，主力资金分别净流入1.60亿元、1.28亿元、7956.46万元。
　　资金流入比率方面，凯美特气、中船特气、永新光学等流入比率居前，主力资金净流入率分别为15.64%、11.67%、8.76%。（数据宝）
　　光刻机概念资金流入榜
代码简称今日涨跌幅（%）今日换手率（%） 主力资金流量（万元）主力资金净流入比率（%）002008大族激光2.6811.7525549.796.47688146中船特气20.0121.4116048.6611.67002549凯美特气10.047.9712758.7215.64301297富乐德4.1615.617956.468.21300666江丰电子2.636.843435.463.14003031中瓷电子2.631.462145.537.61603297永新光学2.412.362141.188.76300331苏大维格1.605.621898.497.19688307中润光学4.3810.241349.745.86603360百傲化学5.013.721083.451.86600850电科数字0.931.601027.744.02603738泰晶科技1.163.59705.173.22688195腾景科技1.894.60658.832.42301568思泰克1.7814.42558.481.84688268华特气体12.569.54493.500.71002816*ST和科1.441.82252.087.88300786国林科技2.1016.36146.040.37003043华亚智能1.043.19-138.45-1.19300990同飞股份1.899.45-165.53-0.33688376美埃科技-1.386.02-274.75-1.81688630芯碁微装4.354.72-276.25-0.31603800洪田股份10.008.78-583.60-0.60300219鸿利智汇-0.141.93-676.45-7.08688409富创精密0.082.58-1149.93-4.16300293蓝英装备0.079.94-1622.51-2.15300691联合光电-0.602.82-1649.22-13.98688199久日新材-1.919.05-1864.75-4.70002889东方嘉盛-1.424.62-1867.44-9.65301421波长光电0.5211.94-1888.04-4.30688502茂莱光学0.918.81-1917.92-3.77301611珂玛科技-0.306.37-1947.94-9.19603005晶方科技0.337.08-3075.91-2.17688167炬光科技-3.656.95-5538.80-8.76300260新莱应材0.5612.35-5956.96-4.63600353旭光电子0.0612.08-6868.86-4.36300456赛微电子-1.575.59-6926.46-10.41600619海立股份10.0122.71-34147.64-7.86600895张江高科-1.706.72-47597.52-12.89（文章来源：证券时报网）