截至9月17日收盘，光刻机概念上涨3.30%，位居概念板块涨幅第1，板块内，33股上涨，波长光电20%涨停，永新光学、凯美特气等涨停，苏大维格、鸿利智汇、赛微电子等涨幅居前，分别上涨14.66%、11.40%、8.38%。跌幅居前的有沃格光电、洪田股份、大族激光等，分别下跌4.58%、1.26%、0.99%。
　　今日涨跌幅居前的概念板块
概念今日涨跌幅（%）概念今日涨跌幅（%）光刻机3.30免税店-1.60同花顺果指数2.32猪肉-1.40铜缆高速连接2.18预制菜-1.36柔性屏(折叠屏)2.13乳业-1.30国家大基金持股1.99白酒概念-1.19信托概念1.92养鸡-1.16华为汽车1.90毛发医疗-1.05人形机器人1.82统一大市场-0.97光刻胶1.80生态农业-0.96工业母机1.78广东自贸区-0.90　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入17.94亿元，其中，27股获主力资金净流入，6股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是凯美特气，今日主力资金净流入7.72亿元，净流入资金居前的还有波长光电、张江高科、赛微电子等，主力资金分别净流入3.59亿元、1.29亿元、1.18亿元。
　　资金流入比率方面，凯美特气、永新光学、波长光电等流入比率居前，主力资金净流入率分别为48.64%、43.51%、31.66%。（数据宝）
　　光刻机概念资金流入榜
代码简称今日涨跌幅（%）今日换手率（%）主力资金流量（万元）主力资金净流入比率（%）002549凯美特气9.9912.8677177.3948.64301421波长光电20.0127.8735882.9931.66600895张江高科3.935.4512895.444.07300456赛微电子8.3815.8111839.935.06300331苏大维格14.6634.0210761.164.08688167炬光科技6.6511.7410186.435.60603297永新光学10.001.759139.7843.51301095广立微5.945.126624.209.16300666江丰电子3.456.874912.884.07300293蓝英装备3.9610.394259.985.78688195腾景科技-0.848.794236.533.35300260新莱应材3.6014.633910.082.32600353旭光电子-0.116.083571.313.89688502茂莱光学6.6012.703519.003.75300786国林科技5.2820.272831.415.80603800洪田股份-1.266.272215.072.99688268华特气体3.803.341974.618.64300691联合光电4.889.121965.184.96688307中润光学7.2012.791938.447.46688605先锋精科3.2711.031483.025.17603005晶方科技1.675.181059.271.01300414中光防雷1.283.27815.846.28688199久日新材0.602.66567.064.87003031中瓷电子1.921.18364.331.50002889东方嘉盛1.082.36138.201.46002816*ST和科0.371.5558.742.02301297富乐德0.554.7714.330.05301209联合化学-0.461.07-87.89-0.96600850电科数字0.822.67-327.36-0.68301568思泰克-0.0212.65-419.49-1.36003043华亚智能-0.682.43-591.31-5.94688376美埃科技-0.404.45-606.09-4.80300219鸿利智汇11.4016.56-683.70-0.75688146中船特气2.204.85-761.04-2.59603738泰晶科技1.192.64-763.61-4.84301611珂玛科技1.183.80-1349.51-4.54600619海立股份3.1511.41-1561.68-0.76603360百傲化学0.161.89-2137.47-6.39300990同飞股份1.387.67-2358.05-4.57603773沃格光电-4.586.98-2447.73-4.63688409富创精密0.734.98-4980.07-9.10688630芯碁微装-0.056.33-5085.00-4.13002008大族激光-0.995.72-10769.38-4.93（文章来源：证券时报网）